Herstellungsverfahren für eine mikromechanische Sensorvorrichtung mit geätzter Rückseitenkaverne, entsprechende Ätzvorrichtung und entsprechende mikromechanische Sensorvorrichtung

PS 10 2013 217 108.0 - B81B 1/00. AT 28.08.2013; OT 19.03.2015; PT 25.02.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Benzel, Hubert, 72124 Pliezhausen, DE

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Mikropumpe

• Mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und entsprechendes Herstellungsverfahren

• Hermetisch verschlossene Einkapselungsstruktur einer Vorrichtung und einer elektronischen Komponente

• Verfahren zum Prüfen von MEMS-Vorrichtungen

• Verfahren zur Herstellung einer Mikrodüsenplatte

• Verfahren für die Ausbildung von Biochips mit nicht-organischen Kontaktauflagen für einen verbesserten Wärmehaushalt

• Verfahren zur Herstellung einer Mikrodüse

• MEMS-Bauelement mit Dünnschicht-Abdeckung mit verbesserter Stabilität und Verfahren zur Herstellung

• Mikrofluidchip mit dielektrophoretischen Elektroden, die sich in einem hydrophilen Fließweg erstrecken

• Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteils

Links zu diesem Artikel

Werbepartner