Herstellungsverfahren für eine mikromechanische Sensorvorrichtung mit geätzter Rückseitenkaverne, entsprechende Ätzvorrichtung und entsprechende mikromechanische Sensorvorrichtung

PS 10 2013 217 108.0 - B81B 1/00. AT 28.08.2013; OT 19.03.2015; PT 25.02.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Benzel, Hubert, 72124 Pliezhausen, DE