Kapazitives MEMS-Bauelement mit einer druckempfindlichen Membran

PS 10 2013 217 312.1 - B81B 7/02. AT 30.08.2013; OT 05.03.2015; PT 30.06.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Ehrenpfordt, Ricardo, 70825 Korntal-Münchingen, DE Scheben, Rolf, 70499 Stuttgart, DE Schelling, Christoph, 70597 Stuttgart, DE

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