Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur

WP 60 2008 038 260.5 - B81C 1/00. AT 03.10.2008; OT 16.04.2009; PT 20.05.2015. Anm.: Micronit Microfluidics B.V., Enschede, NL. Erf.: Oonk, Johannes, NL-7545 KG Enschede, NL. van'z Oever, Ronny, NL-7415 CR Deventer, NL, Blom, Marko, Theodoor, NL-7534 NK Enschede, NL.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Sensoranordnung

• Mikromechanisches Bauteil mit mindestens zwei Kavitäten mit unterschiedlichem Innendruck und/oder unterschiedlicher Gaszusammensetzung

• Vorrichtung und Verfahren zur Prozessierung von Mikrobauteilen

• Keramik-Mehrlagenschaltung mit elektrischem Bauteil

• Mikroelektromechanisches System

• Verfahren zum Prüfen von MEMS-Vorrichtungen

• Verfahren zur Herstellung mikromechanischer Strukturen sowie mikromechanische Struktur

• Mikropumpe

• Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung, insbesondere einer mikromechanischen Schwingspiegelvorrichtung

• Nanoeinheiten, gebildet mit eingehängter Graphen-Membran

Links zu diesem Artikel

Werbepartner