Mikromechanisches Bauteil mit Dünnschichtverkappung und Herstellungsverfahrung
Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Bauteil, mit einem Substrat und mit einer Dünnschicht sowie mit einer Kaverne, welche durch das Substrat und die Dünnschicht begrenzt ist, wobei in der Kaverne wenigstens ein Gas mit einem Innendruck eingeschlossen ist. Der Kern der Erfindung besteht darin, daß die Gasphase eine nichtatmosphärische Zusammensetzung aufweist.$A Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils mit einem Substrat und mit einer Dünnschichtverkappung sowie mit einer Kaverne, welche durch das Substrat und die Dünnschichtverkappung begrenzt ist. Das erfindungsgemäße Verfahren weist die Schritte Anordnen eines Polymers in einer Kaverne, Schließen der Kaverne und Erzeugen einer Gasphase mit nichtatmosphärischer Zusammensetzung in der Kaverne durch Zersetzung wenigstens eines Teils des Polymers auf. Erfindungsgemäß wird ein Innendruck erzeugt, der höher sein kann als der Prozeßdruck beim Verschließen der Kaverne.
PS 10 2007 022 509.3 - B81B 1/00. AT 14.05.2007; OT 20.11.2008; PT 22.10.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Feyh, Ando, 71732 Tamm, DE.