Verfahren zur Erzeugung dünner, freistehender Schichten aus Festkörpermaterialien mit strukturierten Flächen

WP 60 2009 015 083.9 – B81C 1/00. AT 18.12.2009; OT 08.12.2011; PT 17.04.2013. Anm.: Siltectra GmbH, 01099 Dresden, DE. Erf.: Lichtensteiger, Lukas, 8057 Zurich, CH.

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