Sensor mit einem mikroelektromechanischem Chip (MEMS-Chip)

PS 10 2013 211 693.4 – B81B 7/02. AT 20.06.2013; OT 24.07.2014; PT 24.07.2014. Anm.: i-for-T GmbH, 83026 Rosenheim, DE. Erf.: Grießler, Erich, 83043 Bad Aibling, DE, Danitschek, Michael, Schwaz, AT.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Herstellungsverfahren eines mikromechanischen Bauelements mit porösifizierter Membran

• Zusammengepackte Vorrichtung

• Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung, insbesondere einer mikromechanischen Schwingspiegelvorrichtung

• Verfahren zur Herstellung eines Polymerstempels zum Abformen von Vorrichtungen mit Mikro- und Nanostrukturen und entsprechende Vorrichtung

• Mikromechanisches System

• Mikromechanisches System mit einstellbarem Schwingungsverhalten und Verfahren zu seinem Betrieb

• Stellglied in einem Mikrofluidsystem zur Erzeugung einer elektroosmotischen Fluessigkeitsbewegung in einem Mikrokanal und Verfahren zur Erzeugung einer elektroosmotischen Flüssigkeitsbewegung in einem Mikrokanal

• Mikromechanische Sensoranordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren

• Verbessertes Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit Hohlräumen zwischen einem aufgehängten Element auf in einem Substrat halbvergrabenen isolierenden Pads und dieses Substrat

• Hermetisch verschlossene Einkapselungsstruktur einer Vorrichtung und einer elektronischen Komponente

Links zu diesem Artikel

Werbepartner