Sensor mit einem mikroelektromechanischem Chip (MEMS-Chip)

PS 10 2013 211 693.4 – B81B 7/02. AT 20.06.2013; OT 24.07.2014; PT 24.07.2014. Anm.: i-for-T GmbH, 83026 Rosenheim, DE. Erf.: Grießler, Erich, 83043 Bad Aibling, DE, Danitschek, Michael, Schwaz, AT.

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