Verbessertes Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit Hohlräumen zwischen einem aufgehängten Element auf in einem Substrat halbvergrabenen isolierenden Pads und dieses Substrat

WP 60 2012 013 966.8 - B81C 1/00. AT 08.11.2012; OT 16.05.2013; PT 13.01.2016. Anm.: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Larrey, Vincent, F-38140 La Murette, FR Polizzi, Jean-Philippe, F-38000 Grenoble, FR.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauelement

• Verfahren zur Herstellung einer metzartigen Struktur mit Mikroträgerkern

• Mikromechanisches Verfahren zum Herstellen eines flexiblen Schichtelements

• Integrierte Struktur mit bidirectionalem vertikalem Antrieb

• Opferschichten aus Aerogel für die Herstellung von MEMS-Vorrichtungen

• Verfahren zum Herstellen von elektrischen Bauteilen

• Mikromechanisches Bauelement mit reduzierter Spannung in der Membranstruktur

• Mikroelektromechanisches System

• Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Formkörpers

• Sensor mit einem mikroelektromechanischem Chip (MEMS-Chip)

Links zu diesem Artikel

Werbepartner