Verbessertes Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit Hohlräumen zwischen einem aufgehängten Element auf in einem Substrat halbvergrabenen isolierenden Pads und dieses Substrat

WP 60 2012 013 966.8 - B81C 1/00. AT 08.11.2012; OT 16.05.2013; PT 13.01.2016. Anm.: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Larrey, Vincent, F-38140 La Murette, FR Polizzi, Jean-Philippe, F-38000 Grenoble, FR.

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