Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur

EP 60 2011 003 372.7 – B81C 1/00. AT 08.06.2011; OT 14.12.2011; PT 16.10.2013. Anm.: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Tokio, JP. Erf.: Kato, Hideto, Annaka-shi, Gunma, JP, Kanbara, Hiroshi, Annaka-shi, Gunma, JP, Furihata, Tomoyoshi, Annaka-shi, Gunma, JP, Hirano, Yoshinori, Annaka-shi, Gunma, JP.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Herstellungsverfahren eines mikromechanischen Bauelements mit porösifizierter Membran

• MEMS-Bauelement mit Dünnschicht-Abdeckung mit verbesserter Stabilität und Verfahren zur Herstellung

• Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil

• Selbstaktivierender Dünnschichtgetter in reaktiven Mehrschichtsystemen

• Hohlraum für ein mikromechanisches Bauelement

• Herstellungsverfahren einer Struktur, die ein Graphenblatt mit Metalllötstützpunkten enthält, so erhaltene Struktur und ihre Anwendungen

• Verfahren zum Bilden eines hoch auflösenden Musters

• MEMS-Stellglieder

• Hohlraumstrukturen für MEMS-Bauelemente

• Verstärkte Mikroelektromechanische Systeme und Herstellungsverfahren dafür

Links zu diesem Artikel

Werbepartner