Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur

EP 60 2011 003 372.7 – B81C 1/00. AT 08.06.2011; OT 14.12.2011; PT 16.10.2013. Anm.: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Tokio, JP. Erf.: Kato, Hideto, Annaka-shi, Gunma, JP, Kanbara, Hiroshi, Annaka-shi, Gunma, JP, Furihata, Tomoyoshi, Annaka-shi, Gunma, JP, Hirano, Yoshinori, Annaka-shi, Gunma, JP.

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