Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils

EP 60 2008 030 936.3 – B81C 99/00. AT 10.07.2008; OT 20.01.2010; PT 19.03.2014. Anm.: The Swatch Group Research and Development Ltd., Marin, CH. Erf.: Dinger, Rudolf, 2024, Saint-Aubin, CH, Ravenel, Thierry, 2068, Hauterive, FR.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Keramik-Mehrlagenschaltung mit elektrischem Bauteil

• Hohlraumstrukturen für MEMS-Bauelemente

• Verfahren zur Herstellung von Leiterbahnbrücken und Bauteil mit leitfähiger Schicht

• Verfahren zur Herstellung eines integrierten mikrofluidischen Systems

• Mikronadelstruktur und ihre Produktionsmethode

• Sensor und Verfahren zum Herstellen einer flexiblen Lötverbindung zwischen einem Sensor und einer Leiterplatte

• Mikromechanischer Drucksensor mit beheiztem Passivierungsmittel und Verfahren zu seiner Steuerung

• Anordnung mit einem MEMS-Bauelement mit einer PFPEl Schicht und Verfahren zur Herstellung

• Stellglied in einem Mikrofluidsystem zur Erzeugung einer elektroosmotischen Fluessigkeitsbewegung in einem Mikrokanal und Verfahren zur Erzeugung einer elektroosmotischen Flüssigkeitsbewegung in einem Mikrokanal

• Mikromechanischer Druckschalter sowie Verfahren zur Herstellung des Mikromechanischen Druckschalters

Links zu diesem Artikel

Werbepartner