Hohlraumstrukturen für MEMS-Bauelemente

PS 10 2012 202 643.6 - B81C 1/00. AT 21.02.2012; OT 13.09.2012; PT 23.07.2015. Anm.: Infineon Technologies AG, 85579 Neubiberg, DE. Erf.: Kolb, Stefan, 85716 Unterschleißheim, DE; Prügl, Klemens, 93049 Regensburg, DE; Winkler, Bernhard, 93049 Regensburg, DE; Zankl, Andreas, 93109 Wiesent, DE.

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