Opferschichten aus Aerogel für die Herstellung von MEMS-Vorrichtungen

EP 60 2011 022 961.3 - B81C 1/00. AT 31.10.2011; OT 09.05.2012; PT 27.01.2016. Anm.: Honeywell International Inc., Morris Plains, N.J., US. Erf.: Detry, James F., Morristown, NJ New Jersey 07962-2245, US.

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