Reduktion von Sägerückständen bei MEMS-Vorrichtungen

EP 60 2009 023 242.8 – B81C 1/00. AT 10.07.2009; OT 27.01.2010; PT 16.04.2014. Anm.: Honeywell International Inc., Morristown, US. Erf.: Rekstad, Jame, Morristown, NJ 07962-2245, US, Nohava, James C., Morristown, NJ 07962-2245, US, Ridley, Jeff A., Morristown, NJ 07962-2245, US, Glenn, Max, Morristown, NJ 07962-2245, US, Horning, Robert D., Morristown, NJ 07962-2245, US.

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