Kapazitive Messstruktur mit eingebetteten Akustikkanälen

EP 60 2014 003 116.1 - B81B 3/00. AT 30.05.2014; OT 10.12.2014; PT 17.08.2016. Anm.: InvenSense, Inc., San Jose, Calif., US. Erf.: Chan, Mei-Lin, Sunnyvale, CA 94087, US Li, Xiang, Mountain View, CA 94043, US Lim, Martin, San Mateo, CA 94402, US

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