Verfahren zur Herstellung und zum Testen von mikrofluidischen Chips

EP 60 2010 023 541.6 – B81C 99/00. AT 29.06.2010; OT 05.01.2011; PT 01.04.2015. Anm.: Nicht genannt. Erf.: Blom, Marko Theodoor, 7534 NK, Enschede, NL, Van 't Oever, Ronny, 7415 CR, Deventer, NL.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Hermetische Einkapselung auf Wafer-Ebene von MEMS Vorrichtungen mit Niedrigtemperatur-Metallurgie

• Mikropumpe

• Herstellungsverfahren einer hängenden MEMS Struktur

• Verfahren zum Verkapseln einer MEMS-Struktur

• MEMS-Vorrichtung mit kontrollierter Lage einer Elektrodenruhestellung

• Dreideimensionale Mikro-Struktur, Anordnung mit mindestens zwei dreidimensionalen Mikro-Strukturen, Verfahren zum Herstellen der Mikrostruktur und Verwendung der Mirkostruktur

• Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil

• Mikrofonchip

• Verfahren zur hermetischen Verkapselung eines Mikrosystems

• Verfahren zur Herstellung mikromechanischer Strukturen sowie mikromechanische Struktur

Links zu diesem Artikel

Werbepartner