Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil

WP 50 2010 008 292.1 – B81B 3/00. AT 18.05.2010; OT 02.12.2010; PT 19.11.2014. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Lestyan, Zoltan, H-1139 Budapest, HU, Njikam Njimonzie, Frederic, 72762 Reutlingen, DE, Muchow, Joerg, 72764 Reutlingen, DE, Schock, Wolfram, 72768 Rommelsbach, DE.

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