Aufbringung durch Tauchschleudern einer strukturierten Dünnschicht auf einem Substrat

EP 60 2014 002 850.0 - B81B 7/00. AT 29.07.2014; OT 04.02.2015; PT 27.07.2016. Anm.: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Sebastien, Thomas, 38950 Saint-Martin-Le-Vinoux, FR Bedjaoui, Messaoud, 38340 Voreppe, FR Ennajdaoui, Aboubakr, 63100 Clermont-Ferrand, FR

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Mikromechanische Sensoranordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren

• MEMS-Vorrichtungen

• Verfahren zur Herstellung eines Polymerstempels zum Abformen von Vorrichtungen mit Mikro- und Nanostrukturen und entsprechende Vorrichtung

• Mikromechanisches System mit einstellbarem Schwingungsverhalten und Verfahren zu seinem Betrieb

• Miniaturisiertes elektrisches Bauelement mit einem Stapel aus einem MEMS und einem ASIC

• Mikromechanischer kapazitiver Drucksensor und entsprechendes Herstellungsverfahren

• Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur

• Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren

• Mikromechanisches Kombi-Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren

• Verstärkte Mikroelektromechanische Systeme und Herstellungsverfahren dafür

Links zu diesem Artikel

Werbepartner