Mikromechanischer Sensor mit perforationsoptimierter Membran sowie ein geeignetes Hestellungsverfahren
Die vorliegende Erfindung beschreibt einen mikromechanischen Sensor mit einer Membran und einem Gegenelement sowie ein Herstellungsverfahren für einen solchen mikromechanischen Sensor. Dabei ist vorgesehen, dass in das Gegenelement Perforationsöffnungen eingebracht sind, die erfindungsgemäß eine inhomogene Flächenverteilung in dem Gegenelement aufweisen.
PS 10 2006 002 106.1 - B81B 3/00. AT 17.01.2006; OT 19.07.2007; PT 03.03.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Krieg, Dietmar, 73230 Kirchheim, DE Zöllin, Jochen, 70193 Stuttgart, DE.