Mikromechanisches Kombi-Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren
Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Kombi-Bauelement mit einem Substrat mit einer Vorderseite und einer Rückseite; einer auf der Vorderseite des Substrats gebildeten ersten Sensoreinrichtung vom Inertialtyp mit mindestens einem Biegebalken; einer auf der Vorderseite des Substrats gebildeten zweiten Sensoreinrichtung vom Membrantyp mit mindestens einer Membran und mindestens einer Gegenelektrode; wobei die erste Sensoreinrichtung und die zweite Sensoreinrichtung durch eine auf der Vorderseite des Substrats angebrachte gemeinsame Kappeneinrichtung, vorzugsweise einen Kappenwafer, verkappt sind. Die Erfindung schafft ebenfalls ein entsprechendes Herstellungsverfahren.
PS 10 2006 011 545.7 - B81B 3/00. AT 14.03.2006; OT 20.09.2007; PT 17.03.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Reichenbach, Frank, 72827 Wannweil, DE Fischer, Frank, 72810 Gomaringen, DE Schelling, Christoph, 72762 Reutlingen, DE Höchst, Arnim, 72076 Tübingen, DE Weiss, Stefan, 72070 Tübingen, DE