Mikroelektromechanisches System mit einem Luftspalt
WP 60 2011 008 930.7 – B81B 3/00. AT 11.08.2011; OT 16.02.2012; PT 06.08.2014. Anm.: Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Paris, FR; Université de Limoges, Limoges, FR. Erf.: Blondy, Pierre, F-87000 Limoges, FR, Orlianges, Jean-Christophe, F-19170 Bugeat, FR, Courreges, Stanis, F-87100 Limoges, FR, Pothier, Arnaud, F-87920 Condat sur Vienne, FR.