Verfahren zur Herstellung von MEMS-Strukturen mit planarem Hohlraum und verwandter Strukturen

WP 11 2011 102 134.8 - B81C 1/00. AT 08.06.2011; OT 29.12.2011; PT 02.02.22017. Anm.: GLOBALFOUNDRIES Inc., Grand Cayman, KY. Erf.: Herrin, Russell T., Essex Junction, Vt., US Jahnes, Christopher V., Yorktown Heights, N.Y., US Stamper, Anthony K., Essex Junction, Vt., US White, Eric J., Essex Junction, Vt., US

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