Mikromechanisches Bauelement
Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement, welches eine derartige Struktur aufweist, dass ein Materialstrom aus wenigstens einer Vorzugsrichtung zur gleichmäßigen Umhüllung des mikromechanischen Bauelements gelenkt ist.
PS 10 2005 038 755.1 - B81B 1/00. AT 17.08.2005; OT 22.02.2007; PT 10.03.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Reichenbach, Frank, 72827 Wannweil, DE Haag, Frieder, 72827 Wannweil, DE Kaelberer, Arnd, 73278 Schlierbach, DE