Sensoranordnung aus Trägersubstrat und ferroelektrischer Schicht

PS 10 2012 005 262.6 – B81B 3/00. AT 15.03.2012; OT 19.09.2013; PT 06.11.2014. Anm.: Forschungszentrum Jülich GmbH, 52428 Jülich, DE. Erf.: Wördenweber, Roger, Prof. Dr., 52382 Niederzier, DE.

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