Sensor mit Membran und Herstellungsverfahren

PS 10 2013 210 512.6 - B81C 1/00. AT 06.06.2013; OT 11.12.2014; PT 07.01.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Reinmuth, Jochen, 72766 Reutlingen, DE Will, Barbara, 71083 Herrenberg, DE Weber, Heribert, 72622 Nürtingen, DE.

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