Mikromechanisches System
Es wird ein mikromechanisches System 1 beschrieben, das ein Substrat 100, eine erste planare Elektrode 10, eine zweite planare Elektrode 20 und eine dritte planare Elektrode 30 umfasst, wobei die zweite planare Elektrode 20 beabstandet über der ersten Elektrode 10 beweglich angeordnet ist und wobei die dritte planare Elektrode 30 beabstandet über der zweiten planaren Elektrode 20 angeordnet ist.
PS 10 2007 060 878.2 - B81B 1/00. AT 18.12.2007; OT 25.06.2009; PT 01.10.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Schubert, Dietrich, 72762 Reutlingen, DE Tebje, Lars, 72770 Reutlingen, DE Wellner, Patrick, 70184 Stuttgart, DE Classen, Johannes, 72764 Reutlingen, DE Kaelberer, Arnd, 73278 Schlierbach, DE