Herstellungsverfahren einer festen Struktur eines bestimmten Volumens, in die ein mobiles Element, insbesondere ein MEMS, eingefügt werden soll
EP 60 2011 002 798.0 – B81C 1/00. AT 29.06.2011; OT 23.02.2012; PT 28.08.2013. Anm.: Commissariat à l'energie atomique et aux energies alternatives, Paris, FR. Erf.: Sibuet, Henri, 38500 LA Buisse, FR, Borel, Stephan, 38920 Crolles, FR, Reig, Bruno, 38430 Moirans, FR, Dieppedale, Christel, 38920 Crolles, FR.