Verfahren zur Herstellung von MEMS-Strukturen durch Ätzung von in Glas eingebetteten Opferstrukturen

EP 60 2013 003 019.7 - B81C 1/00. AT 17.05.2013; OT 26.02.2014; PT 16.09.2015. Anm.: Honeywell International Inc., Morristown, N.J., US. Erf.: Supino, Ryan, Morristown, NJ New Jersey 07962-2245, US Lodden, Grant H., Morristown, NJ New Jersey 07962-2245, US.

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