Anordnung mit einem MEMS-Bauelement mit einer PFPEl Schicht und Verfahren zur Herstellung

PS 10 2011 102 266.3 – B81B 7/02. AT 23.05.2011; OT 29.11.2012; PT 11.04.2013. Anm.: EPCOS AG, 81669 München, DE. Erf.: Henn, Gudrun, 82067 Ebenhausen, DE.

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