Anordnung mit einem MEMS-Bauelement mit einer PFPEl Schicht und Verfahren zur Herstellung

PS 10 2011 102 266.3 – B81B 7/02. AT 23.05.2011; OT 29.11.2012; PT 11.04.2013. Anm.: EPCOS AG, 81669 München, DE. Erf.: Henn, Gudrun, 82067 Ebenhausen, DE.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Verfahren zum integrieren vorfabrizierter Chipstrukturen in funktionale elektronische Systeme

• Verfahren zur Reduzierung von Haftreibung während der Manipulation von Mikroobjekten auf einer Oberfläche

• Verfahren zur Herstellung eines eingebetteten Metallteils in einer Uhr

• Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements

• Mikromechanischer Membransensor und entsprechendes Herstellungsverfahren

• Verfahren zur Herstellung eines oberflächenstrukturierten Gegenstands

• Montageverfahren für vertikale Sensoren

• Mikromechanische Strukturen und Verfahren zum Betrieb einer mikromechanischen Struktur

• Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil

• Verfahren zur Herstellung eines Elektronikmoduls

Links zu diesem Artikel

Werbepartner