Verfahren zur Herstellung eines hermetisch abgedichteten Hohlraums

EP 60 2007 032 496.3 – B81C 1/00. AT 28.03.2007; OT 15.11.2007; PT 28.08.2013. Anm.: IMEC, Leuven, BE; Katholieke Universiteit Leuven (KUL), Leuven, BE. Erf.: Hellin Rico, Raquel, 03600 Elda (Alicante), ES, Witvrouw, Ann, 3020 Herent, BE, Celis, Jean-Pierre, 3360 Korbeek-Lo, BE.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Akustische Wandler mit perforierten Membranen

• Verfahren zum Prüfen von MEMS-Vorrichtungen

• Verfahren zum Einkapseln einer Mikrokomponente

• Dreidimensionale Mikrostrukturen und Herstellungsverfahren dafür

• Verfahren zur Herstellung von Mikroröhrchen aus Polymermaterialien

• Elektronisches Bauelement mit Abdichtungsplatte für elektronische Bauelemente und Verfahren zu dessen Herstellung

• Mikromechanischer Sensor mit perforationsoptimierter Membran sowie ein geeignetes Hestellungsverfahren

• Dreidimensionale Mikro-Struktur, Anordnung mit mindestens zwei dreidimensionalen Mikro-Strukturen, Verfahren zum Herstellen der Mikro-Struktur und Verwendung der Mikro-Struktur

• Stellglied in einem Mikrofluidsystem zur Erzeugung einer elektroosmotischen Fluessigkeitsbewegung in einem Mikrokanal und Verfahren zur Erzeugung einer elektroosmotischen Flüssigkeitsbewegung in einem Mikrokanal

• Modul mit spannungsfrei befestigtem MEMS-Bauelement

Links zu diesem Artikel

Werbepartner