Dreidimensionale Mikro-Struktur, Anordnung mit mindestens zwei dreidimensionalen Mikro-Strukturen, Verfahren zum Herstellen der Mikro-Struktur und Verwendung der Mikro-Struktur

PS 10 2009 043 414.3 - B81B 1/00. AT 29.09.2009; OT 09.06.2011; PT 22.09.2016. Anm.: Siemens Aktiengesellschaft, 80333 München, DE. Erf.: Hedler, Harry, Dr., 82110 Germering, DE Zapf, Jörg, 81927 München, DE

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