MEMS-Bauelement und Herstellungsverfahren

WP 60 2010 030 412.4 - B81B 3/00. AT 22.11.2010; OT 03.06.2011; PT 27.01.2016. Anm.: BAE Systems PLC, London, GB. Erf.: Hucker, Martyn John, South Gloucestershire BS34 7QW, GB Sturland, Ian Michael, SouthGloucestershire BS34 7QW, GB Eley, Rebecka, South Gloucestershire BS34 7QW, GB

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