Gehäuse zur Verkapselung eines Mikroscannerspiegels

PS 10 2012 207 376.0 – B81B 7/02. AT 03.05.2012; OT 29.08.2013; PT 29.08.2013. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Langa, Sergiu, 01328 Dresden, DE.

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