Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines mikro- und/oder nanostrukturierten Struktursubstrats

PS 50 2006 013 956.1 – B81C 1/00. AT 28.03.2006; OT 03.10.2007; PT 10.09.2014. Anm.: Thallner, Erich, Dipl.-Ing., St. Florian, AT. Erf.: Thallner, Erich, Dipl.-Ing., St. Florian, AT.

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