Reduzierung der Haftung in MEMS durch Ablagerung von Nanoclustern

EP 60 2013 012 116.8 - B81B 3/00. AT 09.12.2013; OT 25.06.2014; PT 28.09.2016. Anm.: Freescale Semiconductor, Inc., Austin, Tex., US. Erf.: Steimle, Robert F., Austin, TX 78737, US Montez, Ruben B., Cedar Park, TX 78613, US

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