Herstellungsverfahren von einer MEMS-/NEMS-Struktur die eine teilweise monokristalline Verankerung besitzt

EP 60 2009 014 781.1 – B81C 1/00. AT 06.07.2009; OT 25.02.2010; PT 10.04.2013. Anm.: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Robert, Philippe, 38000 Grenoble, FR.

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