Verfahren zum Herstellen eines kapazitiven Ultraschallwandlers und Anordnung

PS 10 2013 223 695.6 - B81C 1/00. AT 20.11.2013; OT 21.05.2015; PT 22.09.2016. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Unamuno, Anartz, 01109 Dresden, DE Friedrichs, Martin, 01307 Dresden, DE

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