Selbstaktivierender Dünnschichtgetter in reaktiven Mehrschichtsystemen

PS 10 2012 110 542.1 - B81C 3/00. AT 05.11.2012; OT 12.06.2014; PT 13.04.2017. Anm.:Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Reinert, Wolfgang, Dr., 24536 Neumünster, DE

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