Sensor und Verfahren zum Herstellen eines Sensors

PS 10 2011 081 641.0 – B81B 3/00. AT 26.08.2011; OT 28.02.2013; PT 20.11.2014. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Kropelnicki, Piotr, Dr., 50668 Köln, DE, Vogt, Holger, Prof.Dr., 45481 Mülheim, DE, Weiler, Dirk, Dr., 44627 Herne, DE.

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