Temperaturkompensation für einen Silizium-MEMS-Resonator

WP 60 2004 047 180.1 - B81B 3/00. AT 30.03.2004; OT 04.11.2004; PT 13.05.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Partridge, Aaron, Palo Alto, CA 94301, US, Lutz, Markus, Los Altos, CA 94022-3040, US.

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