Mikromechanisches Bauelement mit eutektischer Verbindung zwischen zwei Substraten und Verfahren zum Herstellen eines derartigen mikromechanischen Bauelements

WP 50 2010 009 661.2 - B81C 1/00. AT 07.04.2010; OT 09.12.2010; PT 10.06.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Gonska, Julian, 72766 Reutlingen, DE Weber, Heribert, 72622 Nuertingen, DE.

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