MEMS-Vorrichtung mit kontrollierter Lage einer Elektrodenruhestellung

WP 60 2007 045 692.4 - B81B 3/00. AT 10.12.2007; OT 19.06.2008; PT 06.04.2016. Anm.: NXP B.V., Eindhoven, NL. Erf.: Steeneken, Peter G., 5656 AG Eindhoven, NL

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