Verfahren zur Herstellung von Stempeln für Vorrichtungen für die plasmonische Nanolithographie

PS 10 2012 224 359.3 - B81C 1/00. AT 24.12.2012; OT 24.12.2013; PT 26.11.2015. Anm.: Korea Institute of Machinery & Materials, Daejeon, KR. Erf.: Lee, Eung-Sug, Daejeon, KR Jung, Joo-Yun, Daejeon, KR Choi, Jun-Hyuk, Daejeon, KR Hahn, Jae Won, Seoul, KR

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