Mikromechanisches Bauelement mit reduziertem Stressgradient

EP 50 2008 013 030.6 - B81B 3/00. AT 12.11.2008; OT 01.07.2009; PT 03.06.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Baumann, Helmut, 72810, Gomaringen, DE; Scheuerer, Roland, 72768, Reutlingen, DE; Weber, Heribert, 72622, Nuertingen, DE.

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