Anordnung zum Erzeugen eines definierten Abstands zwischen Elektrodenflächen auf integrierten Bauelementen für chemische und biochemische Sensoren

PS 10 2012 217 853.8 - B81C 3/00. AT 28.09.2012; OT 04.04.2013; PT 04.02.2016. Anm.: Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH, 98693 Ilmenau, DE. Erf.: Pleß, Holger, 99100 Bienstädt, DE Rolapp, Alexander, 99885 Ohrdruf, DE Bornmann, Volker, Dr., 98693 Ilmenau, DE Spiller, Frank, Dr., 98693 Ilmenau, DE Einbrodt, Wolfgang, 99099 Erfurt, DE Bach, Konrad, 99189 Tiefthal, DE

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