Herstellungsverfahren für ein Mikromechanisches Bauelement mit anodisch gebondeter Kappe
Beschreibung: Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Bauelement mit einem Kappenwafer wenigstens bestehend aus einem ersten Siliziumsubstrat und einem dünnen Glassubstrat, mit einem Funktionswafer wenigstens bestehend aus einem zweiten Siliziumsubstra, wobei an dem Funktionswafer wenigstens eine elektrische Kontaktfläche angeordnet ist. Der Kappenwafer ist an dem Glassubstrat durch anodisches Bonden mit dem Funktionswafer verbunden. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass die elektrische Kontaktfläche an einer dem Kappenwafer zugewandten Seite des Funktionswafers angeordnet ist und der Kappenwafer wenigstens eine Ausnehmung aufweist, derart, dass zu der elektrischen Kontaktfläche ein Zugang gewährt ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Verkappung eines mikromechanischen Bauelements mit einem Kappenwafer durch anodisches Bonden des Kappenwafers auf einen Funktionswafer.
PS 10 2005 040 789.7 – B81B 1/00. AT 29.08.2005; OT 01.03.2007; PT 24.12.2014. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Stahl, Heiko, 72760 Reutlingen, DE, Ulbrich, Nicolaus, 72766 Reutlingen, DE, Straub, Rainer, 72119 Ammerbuch, DE.