Bauelement mit einer MEMS Komponente und Verfahren zur Herstellung

PS 10 2013 100 388.5 – B81B 7/02. AT 15.01.2013; OT 17.07.2014; PT 24.07.2014. Anm.: EPCOS AG, 81669 München, DE. Erf.: Pahl, Wolfgang, 81379 München, DE.

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