Elektromechanische Systeme, Wellenleiter und Herstellungsverfahren mit dichteveränderten Opferschichten

WP 60 2010 014 915.3 – B81C 1/00. AT 06.12.2010; OT 09.06.2011; PT 02.04.2014. Anm.: Scannanotek OY, Turku, FI. Erf.: Pavlov, Andrei, Jurievich, FIN-21110 Naantali, FI, Pavlova, Yelena, Vasiljevna, FIN-21110 Naantali, FI.

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