Modul mit spannungsfrei befestigtem MEMS-Bauelement

PS 10 2015 100 757.6 - B81B 7/02. AT 20.01.2015; OT 16.06.2016; PT 16.06.2016. Anm.: EPCOS AG, 81669 München, DE. Erf.: Rombach, Pirmin Hermann Otto, Dr., Kongens Lyngby, DK

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