MEMS-Vorrichtungen mit Z-Achsen Asymmetrie

EP 60 2007 047 348.9 - B81C 1/00. AT 06.12.2007; OT 10.08.2016; PT 10.08.2016. Anm.: Honeywell International Inc., Morris Plains, N.J., US. Erf.: Foster, Michael J., Issaquah, WA 98029, US Zhou, Shifang, Richmond, WA 98052, US

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