Dreideimensionale Mikro-Struktur, Anordnung mit mindestens zwei dreidimensionalen Mikro-Strukturen, Verfahren zum Herstellen der Mikrostruktur und Verwendung der Mirkostruktur

WP 50 2010 012 670.8 - B81C 99/00. AT 20.09.2010; OT 07.04.2011; PT 02.11.2016. Anm.: Siemens Aktiengesellschaft, 80333 München, DE. Erf.: Hedler, Harry, 82110 Germering, DE Zapf, Jörg, 81927 München, DE

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