MEMS Aktuator, System mit einer Mehrzahl vom MEMS Aktuatoren und Verfahren zum Herstellen eines MEMS Aktuators
PS 10 2015 200 626.3 - B81B 7/02. AT 16.01.2015; OT 21.07.2016; PT 21.07.2016. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Dürr, Peter, Dr., 01099 Dresden, DE Kunze, Detlef, Dr., 01097 Dresden, DE Neudert, Andreas, Dr., 01159 Dresden, DE Friedrichs, Martin, 01307 Dresden, DE